Электрические методы основаны на регистрации параметров электрического поля, взаимодействующего с контролируемыми объектами или поля, возникающего в контролируемых объектах в результате внешнего воздействия (термоэлектрический или трибоэлектрический методы). Первичными информативными параметрами является электрическая емкость или потенциал. Емкостный метод используется для контроля диэлектрических или полупроводниковых материалов. По изменению проводимости контролируют химический состав пластмасс, полупроводников, наличие в них несплошностей, влажность сыпучих материалов и другие свойства. Для контроля проводников применяют метод электрического потенциала. Толщину проводящего слоя, наличие несплошностей вблизи поверхностей проводника, контролируют, измеряя падение потенциала на некотором участке.

Разновидностью электрического метода является метод электронной эмиссии — измерение эмиссии ионов с поверхности изделия под влиянием внутренних напряжений. Этот метод используется для определения растрескиваний в эмалевых покрытиях, для сортировки деталей, измерения толщины пленочных покрытий и определения степени закалки изделия.